[00078784]一種直接入射式光臂放大型一維線性測頭
技術詳細介紹
本發明公開了一種直接入射式光臂放大型一維線性測頭，包括：用于發射激光束的激光源，用于接收激光源發射的激光束的光電探測器，用于固定激光源或光電探測器的測頭基座，測頭基座上設有用于檢測的測桿和測球，用于使測頭基座做直線運動的平移部件；以及根據光電探測器上所接收到的激光束入射位置變化值計算得到測球位移變化值的處理系統。該測頭能夠測量得到測頭與被測工件接觸導致的一維位移，以補償被測工件定位時的測量偏差，進而獲得更為準確的測量坐標；該測頭提高了測量的精度，簡化了結構，降低了生產成本，易于批量加工制造。
