[00073715]一種轉動中心與鏡面中心重合的偏轉反射鏡裝置及方法
技術詳細介紹
一種轉動中心與鏡面中心重合的偏轉反射鏡裝置及方法，該裝置包括底座，安裝于底座上控制X軸偏轉的非對稱多邊形組及其驅動壓電陶瓷，安裝于底座上控制Y軸偏轉的非對稱多邊形組及其驅動壓電陶瓷，連接反射鏡支撐臺與非對稱多邊形的柔性鉸的X軸、Y軸方向支撐梁，反射鏡支撐臺以及反射鏡；壓電陶瓷分為兩組，采用差動的方式驅動同組的壓電陶瓷，即可實現對應的單軸偏轉位移，同時驅動四個壓電陶瓷即可實現反射鏡的雙軸偏轉控制；本發明使用剛度不對稱的非對稱多邊形結構嵌套在壓電陶瓷外，將壓電陶瓷的直線位移輸出轉化為所需的鏡面偏轉，使反射鏡產生偏轉時偏轉軸相交于反射鏡表面，減少了鏡面平移所帶來的光路控制誤差，同時本裝置具有結構緊湊、便于加工實施的特點。
