[00073221]一種全息制作表面拉曼增強基底的裝置
聯系人： 蘇州大學
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本實用新型公開了一種全息制作表面拉曼增強基底的裝置，包括高速旋轉涂布機、真空烘箱、全息光刻系統、實時顯影裝置和鍍膜機。利用高速旋轉涂布機獲得涂滿光刻膠的光柵基片；真空烘箱用于烘干、固化光刻膠；使用全息光刻系統使得兩束相干光產生干涉，在光刻膠表面記錄相干光的干涉條紋，通過控制兩束光的角度，精密控制光柵的周期；再通過實時顯影在光刻膠表面形成浮雕型光柵；最后在光柵表面用鍍膜設備鍍一層表面增強拉曼散射金屬活性層。解決了用簡單設備來得到大面積表面拉曼增強基底時周期性難以精確控制的技術難題。
