[00072650]偏轉軸相交于反射鏡表面的低高度雙軸偏轉裝置及方法
技術詳細介紹
一種偏轉軸相交于反射鏡表面的低高度雙軸偏轉裝置及方法，該偏轉裝置主要由三個部分組成用于固定安裝的底座和固定支座；提供偏轉驅動的彈性箏形環和偏轉支撐座，以及反射鏡承載臺、反射鏡以及約束反射鏡承載臺產生偏轉位移的柔性鉸鏈和其連接臺；本發明使用四個壓電陶瓷實現偏轉角度的輸出控制，具有控制精度高，響應快的特點；壓電陶瓷分為兩組，采用差動的方式驅動同組的壓電陶瓷，即可實現對應的單軸偏轉位移，同時驅動四個壓電陶瓷即可實現反射鏡的雙軸偏轉；該裝置采用反射鏡沉降的結構形式，偏轉軸相交于反射鏡表面，因此減少了偏轉時鏡面縱向位移所帶來的光路控制誤差；同時，結構具有低矮、緊湊的結構特征，所需的安裝使用空間小。
