本發明公開了一種高性能直波導型電光相位調制器及其制備方法,電光調制器具有平板電容型結構,包括相當于介質層的單晶與單晶上下表面的電極層。單晶為二元(1?x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3?xPbTiO3體系或三元(1?x?y)Pb(In1/2Nb1/2)O3?xPb(Mg1/3Nb2/3)O3?yPbTiO3體系。直波導型電光相位調制器是利用鐵電體的疇轉向和雙折射率之差,通過加在共面電極上的預制電場誘發疇轉向,在局部區間產生了高達3%的折射率變化,有效構造了一種結構簡單,易于加工制造的光波導結構。本發明具有極低的半波電壓、低的插入損耗、高的帶寬和優異的相位調制能力。將鐵電性和強光學非線性結合,可設計多種光信息轉換器件,實現光子偏振態的有效控制,微弱信號的檢測以及相控陣信號的生成與控制,適用于量子保密通信技術及微波光子學雷達技術領域。