[00072646]納米圖案化藍寶石襯底及其制備方法
技術詳細介紹
納米圖案化藍寶石襯底及其制備方法，在藍寶石襯底表面旋涂負性光刻膠；在光刻膠表面旋涂壓印膠；利用柔性模板通過壓印在壓印膠上產生納米結構圖形并在紫外光下曝光；然后采用干法刻蝕刻蝕壓印膠直至暴露部分圖案底部的光刻膠上表面；濕法刻蝕光刻膠直至暴露藍寶石上表面；沉積金屬鎳；在顯影液中去掉剩余的光刻膠，剝離金屬鎳，在藍寶石上表面得到金屬鎳的納米尺寸圖案；以金屬鎳圖案作為掩膜干法刻蝕藍寶石；最后去掉藍寶石表面殘留的金屬鎳，完成制備，該襯底是在平面藍寶石襯底的表面上形成了若干間隔排列的藍寶石納米單元。該方法簡單易行、成本低、重復性高、可控性強，能夠達到提高氮化物外延晶體質量，提高氮化物器件性能的作用。
