[00071909]Z軸正向放大一維精密定位平臺
聯系人： 蘇州大學
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種Z軸正向放大一維精密定位平臺，其包括：基座、放大機構、運動平臺、壓電陶瓷、預緊機構；放大機構包括：柔性臂、第一連接部、第二連接部以及兩端的固定部；運動平臺一側與所述第一連接部相抵靠，另一側形成平臺承載面；壓電陶瓷設置于第一連接部和第二連接部之間，壓電陶瓷一端與預緊機構相抵靠，另一端與固定部向抵靠；預緊機構設置于一端的固定部中，預緊機構包括預緊螺母和鋼珠，鋼珠與壓電陶瓷相抵靠，預緊螺母通過鋼珠為壓電陶瓷提供預緊力。本發明的Z軸正向放大一維精密定位平臺具有行程范圍大、高精度、結構簡單、體積小、剛度大、靈敏度高、極高分辨率、納米級、適宜作微動平臺等優點。
