聯系人: 西北大學
所在地: 陜西西安市
摘要:根據本公開的實施例,一種圖案化方法可以包括將圖像分為幀部分組;通過所述幀部分組中的每個幀部分中的尖端陣列中的每個尖端,來確定要被圖案化的圖像的相應部分的尖端圖案;將所述尖端陣列設置在基板的第一區位中的圖案化位置,所述第一區位與基板的其中所述幀部分組中的第一幀部分要被圖案化的區位對應;將輻射的第一圖案投射到所述尖端陣列上以選擇性地照射所述尖端陣列的一個或多個尖端并圖案化所述基板,其中輻射的第一圖案與所述第一幀部分的尖端圖案對應;將尖端陣列設置在基板的第二區位中的圖案化位置,所述第二區位與基板的其中幀部分組中的第二幀部分要被圖案化的區位對應;將輻射的第二圖案投射到所述尖端陣列上,以選擇性地照射所述尖端陣列的尖端并圖案化所述基板,其中輻射的第二圖案與所述第二幀部分的尖端圖案對應;以及針對所述幀部分組中的每個幀部分重復所述放置和投射以圖案化所述圖像。