[00070647]一種多噴頭射頻等離子體發生器
技術詳細介紹
本發明公開了一種多噴頭射頻等離子體發生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為：多個等離子體噴管是安裝在一個平面支架上，多個噴管的噴口構成一個水平面，其中每個等離子體噴管是由一個包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個圓環電極構成，石英管所包覆的管電極的一端是在石英管內，另一端是在管外，一個射頻電源分別與石英管中的內電極和其外電極連接，石英管所包覆的金屬管電極與一個進氣管連接，進氣管的另一端是通過氣體減壓閥與氣瓶連接，當氣體通過石英管所包覆的金屬管電極的端部時電離生成等離子體，并由石英管的噴口噴出。該系統可以用于對較大面積熱敏感材料的表面處理。
