[00070394]一種低溫下硫化鋅納米材料的等離子體氣相沉積制備方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種低溫下硫化鋅納米材料的等離子體氣相沉積制備方法，將鍍有鋅薄膜的硅基片或者石英基片與硫粉末同時放置于等離子體管式爐或者方形爐密閉沉積系統中，低溫下采用惰性氣體進行等離子體放電使氣體原子或分子受激發而電離，氣體原子或分子電離后具有很強的活性并與鋅薄膜和硫粉末經過一系列復雜的物理?化學反應形成納米材料的方法，在不同的溫度條件、電離功率條件及氣體流量下，在鍍有鋅的硅基片上長出各種形貌的硫化鋅納米材料，其生長溫度較低，質量較好，工藝簡單，成本低廉且產品性能穩定。
