[00070360]一種低溫下氧化鋅微納米線化學氣相沉積制備方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種低溫下氧化鋅微納米線化學氣相沉積制備方法，先用超聲設備洗凈硅片或石英玻璃襯底，再將潔凈的襯底放入磁控濺射設備或者蒸鍍設備中，利用磁控濺射或熱蒸鍍的方法于襯底上制備一定厚度的微納米級鋅薄膜，將沉積有鋅薄膜的襯底硅放置于特有的水平管式爐的氣相沉積系統中，抽真空度達到15Pa以下的低真空態，按一定速率升溫加熱此系統到一定溫度，并向此系統通入氧氣和氬氣或氮氣不同氣氛比例條件下的熱處理，通過控制不同的熱處理溫度以及混合氣流速度得到不同形貌的氧化鋅納米線材料，本發明制備的氧化鋅納米線，微納米線質量好，制備工藝簡單、成本低，在氣體探測器、光伏電池領域、催化材料及光電探測器等應用領域前景廣闊。
