[00068592]微小空間內表面放電清洗方法和裝置
聯系人： 西北大學
所在地： 陜西西安市
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技術詳細介紹
摘要：本發明涉及微小空間內表面放電清洗方法和裝置，包括強場空間容器和真空系統，真空系統包括用于抽真空的抽氣裝置和用于充入清洗氣體的充氣裝置；抽氣裝置和充氣裝置均連接若干個待清洗工件內部的微小空間；待清洗工件置于強場空間容器內；強場空間容器連接用于在其內部空腔內產生電磁場的輻射源。本發明先將待清洗的微小空間內部抽真空，然后向該微小空間內充入清洗氣體，將該微小空間處于特高頻電磁波的輻射場中，通過輻射源產生的電磁場與清洗氣體進行配合，能夠使清洗氣體直接在待清洗工件內的微小空間內放電并產生等離子體，從而完成對微小空間內部的清洗，除去工件微小空間內的雜質。
