[00068586]一種大面積多孔微納復合結構的可控制備方法
聯系人： 西北大學
所在地： 陜西西安市
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技術詳細介紹
摘要：本發明提供了一種大面積多孔微納復合結構的可控制備方法，該方法通過光刻法得到微米結構，通過陽極氧化法生長納米結構，形成微納復合結構。本方法采用光刻、腐蝕和陽極氧化的方式，使得微米結構的制備和納米結構的制備均達到可控；獲得的微納復合結構具有高親水性，在使用此種結構作為微通道的底面時可有效降低通道對于溶液的阻力。本方法制備的微納結構，整個結構面積可以按照需要做到分米級、甚至更大，實現大面積制備。該制備方法成本較為低廉，可以獲得形貌可控的微納復合結構，同時該制備方法同微電子工藝相兼容，結合陽極氧化技術，完成了一種對于微納復合結構制備的新方法。
