[00067987]一種硅晶圓線切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的回收方法
技術詳細介紹
本發明涉及硅晶圓線切割領域，公開了一種硅晶圓線切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅回收利用的方法，它將單晶硅片加工工藝中的線切割廢砂漿先添加降黏劑，進行固液分離得到懸浮液部分和固體顆粒部分。對于懸浮液部分添加助濾劑，然后板框壓濾、微孔過濾、中空纖維超濾、離子交換，最后將懸浮液真空蒸餾，回收聚乙二醇。對于固體顆粒依次進行堿反應清洗、水洗塔水洗、離心分離、酸反應清洗、再次水洗塔水洗、離心分離、酸反應清洗、干燥和干法分級，最后得到可循環使用的碳化硅顆粒。
