[00067839]一種磁性高精度微位移平臺及其使用方法
技術詳細介紹
本發明涉及一種精密測試技術及儀器領域，特別涉及一種磁性高精度微位移平臺，包括有支撐平臺和設置在所述支撐平臺上的位移裝置，所述支撐平臺上設置有第一位移件，所述第一位移件與所述位移裝置連接，所述位移裝置帶動所述第一位移件沿所述支撐平臺運動，所述第一位移件具有一個相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑動設置有第二位移件，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述支撐平臺上還設置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動。本申請的方案中，通過以行程換精度的方式，最終得到的位移值小于位移裝置輸出的位移值，如此，直接提高了本申請微位移平臺的精度。
