[00066560]一種對比式抗干擾微動級聯階梯角反射鏡激光干涉儀
技術詳細介紹
本實用新型涉及一種精密測試技術及儀器領域，特別涉及一種對比式抗干擾微動級聯階梯角反射鏡激光干涉儀，對比式抗干擾微動級聯階梯角反射鏡激光干涉儀，包括有激光源、微動階梯角反射鏡組、干涉測量光電探測器組、移動角反射鏡和分光鏡組，還包括有反射測量光電探測器組，所述反射測量光電探測器組包括有z個反射測量光電探測器，所述第二激光束組在由所述移動角反射鏡射向所述分光鏡組后還形成有反射激光束組，所述反射激光束組的各激光束分別射向一個所述反射測量光電探測器。本申請的激光干涉儀，根據反射激光束組的強度確定激光干涉光束的干涉狀態，如此實現抗環境干擾的目的。
