[00066525]一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀
技術詳細介紹
本實用新型公開了一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，包括激光源、分光鏡、固定階梯平面角反射鏡、移動角反射鏡、光電探測器組，其中激光源包括n,個平行激光束，n≥2，光電探測器組包括n個光電探測器件，固定階梯平面角反射鏡的反射面為n個階梯平面，相鄰兩個反射平面間距為(k為自然數)；經過分光鏡作用后的一束激光射入其中一個反射平面后反射到一個光電探測器，同時分光鏡內透射的另一束激光經過移動角反射鏡、分光鏡反射后也入射至該光電探測器。該激光干涉儀產生的激光干涉現象不僅和激光波長有關，還和階梯形反射平面高度差值有關，該光電探測器組能夠檢測到精度達到λ/2n級別的位移，顯著提高了測量精度。
