[00064459]一種大位移高頻響三自由度壓電驅動精密定位平臺
技術詳細介紹
一種大位移高頻響三自由度壓電驅動精密定位平臺，包括剛性基底，剛性基底的兩側和菱形位移放大機構的一個第一剛性輸出端連接，菱形位移放大機構的另一個第一剛性輸出端和橋形位移放大機構的一個第二剛性輸入端連接，菱形位移放大機構的兩個第一剛性輸入端上連接有壓電陶瓷，菱形位移放大機構由柔性臂、兩個第一剛性輸入端和兩個第一剛性輸出端連接構成基于三角原理的柔性機構，橋形位移放大機構是由兩個柔性梁、兩個第二剛性輸入端和一個第二剛性輸出端組成的“拱橋”形柔性機構，其中兩個對稱的柔性梁構成橋形位移放大機構的斜邊，本發明可以實現大行程和高帶寬的高精度位移輸出，結構簡單和緊湊。
