[00064458]XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺
技術詳細介紹
XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺，包括剛性基底，剛性基底內側分別和四個雙層菱形位移放大機構的外側固定端連接，四個雙層菱形位移放大機構的內側第一剛性輸出端與柔性支鏈機構連接，柔性支鏈機構的第二剛性輸出端與動平臺連接，動平臺中心通過螺紋孔剛性連接被驅動對象，動平臺、柔性支鏈機構、雙層菱形位移放大機構關于螺紋孔旋轉對稱；菱形位移放大機構的內側第一剛性輸出端通過矩形梁與剛性基底連接，菱形位移放大機構兩側第一剛性輸入端與壓電陶瓷連接；整個機構由一塊鋼板經電火花加工工藝一體化加工而成，機構內部空腔加工通透，空腔內部構件處于懸空狀態，本發明可以實現大行程和高帶寬的高精度位移輸出，結構簡單和緊湊。
