[00063883]一種基于環形反射腔匯聚激光束的微探針尖端熱加工裝置
技術詳細介紹
本實用新型公開了一種基于環形反射腔匯聚激光束的微探針尖端熱加工裝置，涉及微探針尖端加工制造領域。該裝置包括：激光發生器、圓錐反射鏡、環形激光反射腔、激光吸收器、微探針支架和位移平臺。所述的激光發生器發出的激光束經過圓錐反射鏡的反射后形成環形光進入環形激光反射腔中，再在環形激光反射腔的作用下匯聚到微探針尖端對其加工。采用該方法對微探針進行熱加工，能夠使微探針尖端均勻受熱并提高熱應力分布均衡性，加工后的微探針不易彎曲、不易變形，具有高幾何對稱精度，有利于形成高質量的微探針尖端形貌，滿足微細加工及精密測量對微探針尖端幾何形貌的精度要求。
