[00063868]一種微探針加工成形系統
技術詳細介紹
本實用新型公開了一種微探針加工成形系統，涉及微探針加工制造領域。該系統包括微探針毛坯拉制裝置和微探針尖端熱成形裝置兩部分。所述的微探針毛坯拉制裝置主要包括支撐模塊、進給模塊、夾持模塊和加熱模塊，能夠根據需要拉制出具有不同錐角和長?徑比的微探針毛坯。所述的微探針尖端熱成形裝置主要包括CO2激光器、合束鏡、紅光指示器、聚焦鏡、位移平臺、支架，可以對微探針毛坯尖端進行加熱成形。利用該系統制備微探針時，能夠簡化操作流程，節省操作時間，不易使探針尖端遭受環境污染，提高探針的形貌質量，滿足微細加工及精密測量對微探針幾何精度的要求。
