[00063774]一種提高金屬微電鑄均勻性的兆聲電鑄設備及方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種提高金屬微電鑄均勻性的兆聲電鑄設備及方法，將雙向交替兆聲波耦合進電鑄過程中，該設備包括兆聲鑄槽，所述兆聲鑄槽包括壓電陶瓷組、電鑄槽、防水槽和水浴槽。電鑄槽在防水槽內部貼壁固定，防水槽在水浴槽內通過與防水槽一體的上蓋板固定于水浴槽上。其中壓電陶瓷組粘貼于電鑄槽的兩側壁外，電鑄槽為石英材質，且壁厚為所用兆聲頻率在石英中的半波長。壓電陶瓷組通入兆聲波信號，實現雙向兆聲振動的時間控制。兆聲提高微電鑄均勻性的方法是在基板上制作光刻膠微結構，實現膠膜圖形化，并在電鑄過程中施加雙向交替的兆聲波輻照。本發明的兆聲電鑄設備及方法操作簡單易行，且能夠有效的提高金屬微電鑄過程中鑄層的均勻性。
