[00062829]基于標準質量塊控制測量力的微形貌檢測位移傳感器系統
技術詳細介紹
本發明公開了一種基于標準質量塊控制測量力的微形貌檢測位移傳感器系統，涉及微結構面形質量檢測技術領域。所述的傳感器系統主要由測頭模塊、測頭支撐模塊、位移檢測模塊、測量力控制模塊等組成；所述的測頭模塊包括探針、探桿、限位機構和軸套，所述的測頭支撐模塊為磁懸浮軸承，為測頭模塊提供徑向支持力，所述的位移檢測模塊為一種精密光柵，所述的測量力控制模塊主要包括定滑輪機構和標準質量塊，通過調節標準質量塊的質量來調節測量力。本發明采用標準質量塊與定滑輪機構結合的方式提供測量力，能夠針對不同被測工件提供不同的測量力，在保證測量力恒定可控的同時，簡化了接觸式位移傳感器的設計結構，提高了對微形貌測量的測量精度。
