[00062242]一種從切割廢砂漿中回收硅粉和碳化硅粉的方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種從單晶硅切割或磨削加工硅晶片產生的廢砂漿中提取高純硅粉和碳化硅粉的工藝方法，包括對廢砂漿進行固液分離，通過有機溶劑去除廢料中的懸浮劑和粘結劑，對固態砂料進行氣體浮選，得到一定純度的硅粉末，進一步對該硅粉末進行液體浮選和重力分選，再將分選出的硅粉進行酸洗，獲得高純度的硅粉。同時將重力分選得到的碳化硅－金屬的混合粉末進行磁力分選，獲得純的碳化硅粉末。本發明方法可以有效地回收硅棒切割加工產生的廢砂漿中的高純硅，以及作為切割磨料的碳化硅微粉，回收效率高，是一種變廢為寶，解決高純度硅原料資源短缺問題的實用技術。
