本發明公開了一種基于智能材料驅動的振動移動機構及其制備方法,包括驅動器與支撐足;驅動器包括介電彈性體材料、上框架和下框架;介電彈性體材料夾持于上框架和下框架之間;上框架和下框架固定于若干支撐足上;上框架設置有上表面銅箔電極,下框架上設有下表面銅箔電極,上表面銅箔電極和下表面銅箔電極位于振動移動機構上相對的兩側;介電彈性體材料上表面涂覆有電連接上表面銅箔電極的上表面碳膏電極,介電彈性體材料下表面涂覆有電連接下表面銅箔電極的下表面碳膏電極。本發明采用介電彈性體智能材料為驅動核心,所設計的移動機構具有結構簡單、重量輕、運動分辨力高的特點,在工業檢測、微機電系統組裝、光學工程等領域具有較大的應用潛力。