本發明公開了一種接觸式測量測針球頭半徑精密補償方法。所述接觸式測量測針球頭半徑精密補償方法包括如下步驟使用兩個非等球頭半徑的測針對待檢測表面同一目標點進行測量;利用測針1對目標點進行第一次檢測,獲得測針1的檢測值;利用測針2對目標點進行第二次檢測,獲得測針2的檢測值;基于測針1和測針2對同一目標點的兩次檢測值,以及兩個測針的球頭半徑,計算出目標點的位置值。本發明采用非等球頭半徑的兩個測針對同一目標點進行接觸式測量,最終目標點的檢測值由兩個測針的測量值直接計算獲得,能有效解決對未知參數的復雜空間曲面檢測時球頭半徑補償的問題,大大提高了接觸式測量方法的檢測精度和可靠性。