[00057738]一種微探針加工成形系統及方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種微探針加工成形系統及方法，涉及微探針加工制造領域。該系統包括：微探針毛坯拉制裝置和微探針尖端熱成形裝置兩部分。所述的微探針毛坯拉制裝置能夠根據需要拉制出具有不同錐角和長?徑比的微探針毛坯；所述的微探針尖端熱成形裝置可以對微探針尖端進行加熱成形；對應上述一種微探針加工成形系統的加工方法包括對微探桿毛坯的拉錐和對微探針毛坯進行熱加工處理兩個步驟。利用該系統和相應的方法制備微探針時，能夠簡化操作流程，節省操作時間，不易使探針尖端遭受環境污染，提高探針的形貌質量，滿足微細加工及精密測量對微探針幾何精度的要求。
