[00057461]氮離子太赫茲特征譜線探測的濾波器諧振單元及制造方法
聯系人： 上海師范大學
所在地： 上海上海市
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技術詳細介紹
摘要：一種用于氮離子太赫茲特征譜線探測的濾波器諧振單元，由半絕緣砷化鎵(SI?GaAs)襯底和襯底上的金屬層構成，半絕緣砷化鎵(SI?GaAs)襯底的厚度為0.63mm，金屬層由依次形成在襯底上的5nm厚的鈦金屬層和120nm厚的金金屬層構成，在金屬層中形成有鏤空的十字架諧振結構陣列。還提供上述濾波器諧振單元的制造方法。通過本發明加工工藝制造的諧振單元，能夠實現1.46THz為中心頻率的單頻率THz帶通濾波器。
