[00055044]生長在W襯底上的LED外延片
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本實用新型公開了生長在W襯底上的LED外延片，包括生長在W襯底上的AlN緩沖層，生長在AlN緩沖層上的非摻雜GaN層，生長在非摻雜GaN層上的n型摻雜GaN薄膜，生長在n型摻雜GaN薄膜上的InGaN/GaN量子阱，生長在InGaN/GaN量子阱上的p型摻雜GaN薄膜。本實用新型的LED外延片缺陷密度低、結晶質量好，電學、光學性能好。
