[00055042]生長在鋁酸鍶鉭鑭襯底上的納米柱LED
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本實用新型屬于納米柱LED制備的技術領域，公開了生長在鋁酸鍶鉭鑭襯底上的納米柱LED。所述生長在鋁酸鍶鉭鑭襯底上的納米柱LED包括鋁酸鍶鉭鑭襯底，生長在鋁酸鍶鉭鑭襯底上的AlN成核層，生長在AlN成核層上的GaN納米柱模板，生長在GaN納米柱模板上的AlN/GaN超晶格層，生長在AlN/GaN超晶格層上的非摻雜GaN層，生長在非摻雜GaN層上的n型摻雜GaN層，生長在n型摻雜GaN層上的InGaN/GaN量子阱，生長在InGaN/GaN量子阱上的p型摻雜GaN層。本實用新型的襯底材料成本低廉，所制備的納米柱陣列尺寸可控，取向均一，所得的納米柱LED的缺陷密度低、電學和光學性能優良。
