[00055038]生長在玻璃襯底上的LED外延片及其制備方法
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了生長在玻璃襯底上的LED外延片，包括生長在玻璃襯底上的鋁金屬層，生長在鋁金屬層上的銀金屬層，生長在銀金屬層上的AlN緩沖層，生長在AlN緩沖層上的GaN緩沖層，生長在GaN緩沖層上的非摻雜GaN層，生長在非摻雜GaN層上的n型摻雜GaN薄膜，生長在n型摻雜GaN薄膜上的InGaN/GaN多量子阱，生長在InGaN/GaN多量子阱上的p型摻雜GaN薄膜。本發明還公開了上述生長在玻璃襯底上的LED外延片的制備方法。本發明的生長在玻璃襯底上的LED外延片具有缺陷密度低、結晶質量好，發光性能優良的優點。
