[00054889]一種限制電場型平板電流體動力微泵及其制造方法
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種限制電場型平板電流體動力微泵及其制造方法。微泵由PCB電極片和頂蓋通過硅膠膠粘而成，所述的PCB電極片是通過PCB絲網印刷，沉金，松香油涂覆，超精密磨削工藝加工制作。由于對電極對側面產生的電場進行了限制，使得電場集中于電極表面，離子的拖拽作用都在電極表面完成，避免了電極結構對流體運動的阻擋，大幅提高電流體動力泵的動力效果。同時，采用PCB絲網印刷技術作為基礎，不但提升了電流體動力泵極片的生產效率，還可大幅降低微泵制造成本，鍍金層不但可以為電極提供良好的抗腐蝕能力，延長電極的使用壽命，因金具有較強電子發射能力，相比于硅電極還大幅提升了單位空間內的電場強度，進而提升微泵的動力性能。
