[00054543]一種金屬離子摻雜的釔鋁石榴石晶體薄膜的制備方法
聯系人： 華南師范大學
所在地： 廣東廣州市
- 服務承諾
- 產權明晰
-
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
- 如實描述
技術詳細介紹
摘要：本發明公開一種金屬離子摻雜的釔鋁石榴石晶體薄膜的制備方法。所述方法包括如下步驟：按照比例將金屬離子摻雜的釔鋁石榴石的原料粉末壓制成沉積鍍膜用的坯體，采用電子束蒸發沉積工藝，電子槍產生電子束聚焦射入坯體，控制電子束自動掃描均勻加熱預熔坯體，使坯體初步燒結結晶成瓷，隨后加大電子槍功率進一步加熱坯體，使其熔融并蒸發沉積在襯底基片上形成薄膜，再將薄膜在真空或保護氣氛下進行退火處理，最終制備獲得有效結晶的金屬離子摻雜的釔鋁石榴石晶體薄膜。本方法可實現金屬離子摻雜的釔鋁石榴石晶體薄膜的高質量、低成本、大面積批量生產，制得的金屬離子摻雜的釔鋁石榴石晶體薄膜可用作新型的光波導材料、激光工作物質和功能薄膜材料。
