[00054496]具有可調諧功能的平面納米振蕩器
聯系人： 華南師范大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明涉及一種具有可調諧功能的平面納米振蕩器，包括絕緣襯底層、二維半導體導電層、絕緣保護層、穿透所述二維半導體導電層的絕緣刻槽、輸入電極、輸出電極和覆蓋于所述絕緣保護層之上的表面調控柵極；絕緣刻槽包括橫向絕緣刻槽和縱向絕緣刻槽，橫向絕緣刻槽之間形成振蕩溝道；縱向絕緣刻槽之間形成振蕩溝道的入口，并將二維半導體導電層除振蕩溝道以外的區域分隔成相互絕緣的左邊區域和右邊區域；輸入電極與左邊區域連接形成輸入端，輸出電極與右邊區域連接形成輸出端；表面調控柵極設于振蕩溝道上方。本發明通過調節表面柵極的偏壓和覆蓋范圍，可以提升器件輸出信號的頻率，突破由器件長度所限制的極限工作頻率，使其工作頻率具有可調性。
