[00054442]脈沖激光沉積制備低帶隙鐵電光伏薄膜的方法
聯系人： 湖北大學
所在地： 湖北武漢市
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技術詳細介紹
摘要：本發明提供一種脈沖激光沉積制備低帶隙鐵電光伏薄膜的方法，具體步驟為：以Pt/Ti/SiO2/Si(100)作為襯底，依次用丙酮、無水乙醇、去離子水經超聲波清洗器清洗10分鐘，超聲波工作頻率40kHz，然后用氮氣吹干后立即裝入真空腔內，設定襯底溫度為600～800℃、真空室氧壓為0～5Pa、激光脈沖能量為100～500mJ、脈沖激光頻率為1～20Hz，燒蝕陶瓷靶材得到低帶隙薄膜產物。本發明為物理氣相沉積法，其所選用的原料較少、經濟、無污染，制備工藝簡單、操作方便，易于生產，為開發基于鐵電半導體的太陽能電池開辟了一種全新的途徑。
