[00054206]一種用于制備PVD、CVD涂層的多功能夾具及其方法
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所在地： 廣西壯族自治區南寧
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技術詳細介紹
本發明公開了一種用于制備PVD、CVD涂層的多功能夾具及其方法。該夾具由下支架、上擋板、緊固螺釘整體構成。下支架設有固定螺孔，定位凸臺，樣品定位槽。上擋板設有緊固螺孔，定位槽，透射孔和樣品槽。通過采用樣品槽的設計使得試樣在做鍍層過程中盡量較小除重力外其他應力的影響，以免造成所制備的涂層因受到應力而產生起皺、斷裂等缺陷，保證試樣的處理效果和鍍層質量。樣品槽的設計采用頂圓半徑小于底圓半徑的圓柱體，可適用于不用半徑和厚度的樣品。可以根據需要一次性進行多個試樣的制備處理，降低實驗的操作誤差。本發明夾具結構簡單、成本低，操作簡單，可靠性強，通用性強。
