[00053808]一種多光束陣列振鏡掃描系統
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
- 服務承諾
- 產權明晰
-
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
- 如實描述
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種多光束陣列振鏡掃描系統，包括振鏡框體結構，所述振鏡框體結構內部設有X軸陣列振鏡系統和Y軸振鏡系統，X軸陣列振鏡系統或Y軸振鏡系統為多個軸心線相互平行的振鏡組成，經擴束鏡擴束后的激光通過進光口進入陣列振鏡掃描系統內部，光束到達X軸陣列振鏡系統被平分為n束光強相同的平行光束，n束平行光束在X軸各個振鏡偏轉帶動下實現在X方向任意移動，并投射到Y軸振鏡系統上，在Y軸振鏡偏轉反射帶動下，n組光束在Y方向上移動，最后該n組光束經過出光口并被F?θ鏡聚焦到成型平面上形成一組個數為n的光斑。通過本發明的技術方案，加工效率將會成倍增長，增長的倍數與振鏡的陣列數目相同，極大的降低加工時間和加工成本。
