[00053790]一種超硬碳化硅陶瓷納米鏡面的磨削方法
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種超硬碳化硅陶瓷納米鏡面的磨削方法。該方法采用修銳修整后的粗金剛石砂輪沿垂直砂輪切削方向的z軸移動，對工件進行磨削，磨削由砂輪上出刃磨粒連續切削，磨粒切削深度控制在100納米實現塑性域磨削；完成一次z軸向的磨削后，沿切削方向x－軸移動距離fx后再進行下次磨削時，在工件表面形成高度為he的包絡跡，當選擇適當的砂輪直徑Dw，使得x－軸方向移動fx小于100微米時，包絡跡高度he小于15納米，形成平整、超光滑納米鏡面。本發明可以在微米級或亞微米級精度的機床上利用數控技術實現超精密表面加工，而不需采用昂貴的納米精度機床。采用較粗金剛石砂輪的鏡面磨削具有較大的磨削比，加工效率高，實用性強。
