[00053769]一種銅-金剛石復合鍍層及其制備方法
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種銅-金剛石復合鍍層及其制備方法。所述復合鍍層從下到上由銅鍍層、銅-金剛石復合上砂鍍層和銅加固層組成。制備方法包括以下步驟：在工件表面先用電鍍法沉積銅鍍層，然后在銅鍍層的表面沉積銅-金剛石復合上砂鍍層，最后在銅-金剛石復合上砂鍍層的表面沉積銅加固層，即得到銅-金剛石復合鍍層。該銅/金剛石復合鍍層體積密度含量高，分散均勻，可用作CVD在銅基體上沉積金剛石薄膜的底層，沉積出的CVD金剛石膜具有鑲嵌結構界面，提高CVD金剛石膜/銅基界面結合力。
