[00053522]一種用于MOCVD的金屬有機源摻雜裝置
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本實用新型公開了一種用于MOCVD的金屬有機源摻雜裝置，包括：恒溫電子加熱器；盛料鍋，設于恒溫電子加熱器內，包括圓柱形不銹鋼鍋體及蓋板，所述鍋體上設置有進氣接口和出氣接口；氬氣瓶，通過管路依次連接減壓閥、第一節流閥、軟管、進氣接口；恒溫鋼管，與溫控器電路連接，所述出氣接口通過恒溫鋼管依次連接、流量計、第二節流閥、三通切換閥、鍍膜機沉積室；回收瓶，通過另一根恒溫鋼管連接三通切換閥。本實用新型具有溫度控制、雜氣排出等功能；體積較小，不受有機源狀態限制，可適用于固體或液體，也適用于低沸點、極易揮發的前驅體；低成本輕量化；通入氣體流量穩定、加料簡便、無空氣污染。
