[00053521]一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置
聯系人： 華南理工大學
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
摘要：本實用新型涉及一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，包括：將柔性的襯底平鋪輸送的輸送機構，進行沉積反應的沉積箱，與沉積箱相接的溶液加熱循環機構，洗刷襯底的滾筒洗刷機構，烘干襯底的烘干裝置；所述沉積箱、滾筒洗刷機構和烘干裝置沿著襯底的輸送方向依次設置。本實用新型具有結構簡單、可連續化、批量化生產的優點，屬于薄膜太陽能電池制造工藝技術領域。
