[00051709]Ti阻擋層材料化學機械拋光后的表面潔凈方法
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種Ti阻擋層材料化學機械拋光后的表面潔凈方法，旨在提供一種能夠降低Ti阻擋層材料堿性化學機械拋光的后續加工成本，使用方法簡單易行，能夠提高Ti阻擋層表面質量的方法。配制水溶性表面潔凈液：取電阻為18MΩ以上的超純水邊攪拌邊加入表面活性劑和FA/O?II型螯合劑，攪拌均勻后得pH值為6.5-7.5水溶性表面潔凈液；使用潔凈液迅速對Ti阻擋層材料采用1000-5000mL/min的大流量在0-0.01大氣壓的低壓力條件下進行拋光清洗；使用稀釋后的阻蝕劑溶液迅速對Ti阻擋層材料進行零壓力拋光清洗，流量為1000-5000mL/min；用電阻為18MΩ以上的超純水在零壓力、流量為1000-5000mL/min的條件下沖洗Ti阻擋層材料。
