[00051458]一種在金屬基材上制備硬磁性氧化物涂層的方法
技術詳細介紹
摘要：本發明一種在金屬基材上制備硬磁性氧化物涂層的方法，涉及制造應用電—磁或者類似磁效應的器件的方法，步驟是，先用噴霧造粒法制備等離子噴涂用的原料MeFe12O19型鐵氧體粉末顆粒，再采用等離子噴涂技術在經過預處理的金屬基體材料上噴涂上述粉末顆粒，所達到的硬磁性氧化物涂層厚度為10μm～1mm，然后將噴涂有MeFe12O19硬磁性氧化物涂層的金屬基體材料的工件置于800℃～1200℃下退火熱處理1h，最后對硬磁性氧化物涂層進行精磨加工，得到在金屬基材上噴涂有MeFe12O19硬磁性氧化物涂層的工件，克服了現有技術在金屬基材上制得的磁性厚膜的厚度與磁性不能滿足微電機械需要微型永磁材料器件要求的缺陷。
