[00051457]一種適用于低下壓力的銅化學機械精拋光液
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種適用于低下壓力的銅化學機械精拋光液。本發明所述拋光液中包含研磨顆粒、絡合劑、氧化劑，表面活性劑、抑菌劑和水，抑菌劑的含量為重量百分比0.001～1％；研磨顆粒含量為重量百分比3～15％；絡合劑的含量為重量百分比1～5％；表面活性劑的含量為重量百分比0.01～1％；過氧化氫的含量為重量百分比0.5～3％；用水補足含量至重量百分比100％。本發明拋光液適用于下壓力不大于5.516kPa時銅的精拋光，不包含腐蝕抑制劑。
