摘要:本發明公開了一種壓電主動隔振機構,包括第一力傳感器、彈簧波紋管、中間質量塊、第一柔性鉸鏈、壓電執行器、第二力傳感器、第二柔性鉸鏈和控制器,第二力傳感器的一端用于連接基礎平臺,其另一端依次連接所述第二力傳感器、彈簧波紋管、中間質量塊、第二柔性鉸鏈、壓電執行器、第一力傳感器、第一柔性鉸鏈;第一力傳感器和第二壓力傳感器分別用于檢測基礎平臺和負載平臺的振動信號,并分別將檢測的振動信號傳遞給控制器,以使控制器控制壓電執行器施加作用力在負載平臺上,從而對負載平臺進行補償。本發明采用雙級串聯式懸置結構,有效的降低了結構的固有頻率,能夠有效的抑制精密設備中的微振動低頻干擾。