[00050967]一種半導體激光束的菲涅爾聚焦裝置
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種半導體激光束的菲涅爾聚焦裝置，包括菲涅爾透鏡和柱面鏡，菲涅爾透鏡的一面有多個平行排列的楞，多個楞對半導體激光束的波前進行分割，經過每個楞輸出的激光束角度不同，實現不同區域的光束經過菲涅爾透鏡后在同一處疊加，使菲涅爾透鏡輸出均勻且在慢軸方向聚焦的光斑，柱面鏡對入射光進行快軸方向聚焦，輸出均勻的矩形光斑，解決了傳統聚焦裝置無法兼顧光斑尺寸和光斑均勻性的問題。在激光表面改性過程中，由本發明提供的菲涅爾聚焦裝置輸出的激光光斑的尺寸能夠更好地跟工件作用區域相匹配，可以有效降低溫度梯度所帶來的受熱不均勻性問題，提高加工質量和效率。
