[00050955]一種二維快速控制反射鏡
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了二維快速控制反射鏡，包括反射鏡片，第一、第二支架，第一柔性鉸鏈，第一至第三壓電驅動器，一級傾斜平臺，底座，以及控制驅動系統；二支架對稱固定在底座的一條中軸線上，一級傾斜平臺位于二支架之間的下方，三個壓電驅動器依次排列在一級傾斜平臺和第一支架、第二支架所包圍的空間內，驅動器通過第一柔性鉸鏈與一級傾斜平臺頂部連接，反射鏡片固定在第一柔性鉸鏈上；控制驅動系統實現對反射鏡片偏轉角度的閉環控制。本發明具有驅動速度快，控制精度高，沒有機械磨損，機構緊湊，空間利用率高，無軸間干擾，穩定性好的特點，并且體積小，重量輕，剛度高，可實現單鏡面二維掃描。
