[00050942]一種極紫外激光等離子體光源碎屑的隔離方法及系統
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種極紫外激光等離子體光源碎屑的隔離方法及系統，該方法包括步驟S1：將靶體所在的腔體抽成真空；S2：從進氣口導入緩沖氣體，使得緩沖氣體覆蓋收集鏡并沿收集鏡表面流動形成氣流層；S3：從出氣口導出緩沖氣體；S4：待腔體內的氣流穩定后，使用激光照射靶體，產生極紫外輻射的同時產生了向四周運動的等離子體碎屑；S5：保持緩沖氣體持續的導入和導出，氣流層使所述等離子體碎屑的運動減緩，等離子體碎屑隨著氣流從出氣口導出。本發明適用于CO2激光錫滴等離子體碎屑的隔離；使用的設備簡單、易于操作控制，可有效解決激光照射液滴靶體所產生的碎屑對光學系統的污染和破壞，對提高極紫外光刻系統的壽命有重要意義。
