[00050680]一種硅殼鎢芯加熱絲及制備方法
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了加熱材料制備技術領域的一種硅殼鎢芯加熱絲及其制備方法。所述加熱絲為在鎢絲外表面包裹有高純硅。本發明的制備方法為將鎢絲繞制成所需要的形狀放入化學氣相沉積反應爐中，通過化學氣相沉積反應在鎢絲表面沉積高純硅。本發明的加熱絲可廣泛應用于各類需要加熱的真空設備之中，能夠長期、穩定、有效地為系統提供熱源。
摘要：本發明公開了加熱材料制備技術領域的一種硅殼鎢芯加熱絲及其制備方法。所述加熱絲為在鎢絲外表面包裹有高純硅。本發明的制備方法為將鎢絲繞制成所需要的形狀放入化學氣相沉積反應爐中，通過化學氣相沉積反應在鎢絲表面沉積高純硅。本發明的加熱絲可廣泛應用于各類需要加熱的真空設備之中，能夠長期、穩定、有效地為系統提供熱源。
