[00050604]基于石墨烯?碳納米管復合結構的熱噴印頭
技術詳細介紹
摘要：本實用新型公開了一種基于石墨烯?碳納米管復合結構的熱噴印頭，采用ICP工藝以及PDMS填充深溝的表面平坦化工藝，在硅片襯底上制備主通道、噴墨腔室、進墨通道、噴嘴、噴墨通道；采用陽極鍵合工藝，以石墨烯碎片作為中間層，將玻璃基底和硅片襯底鍵合。主通道和噴墨腔室通過進墨通道連通，進墨通道深度小于噴墨腔室深度；噴嘴設置在噴墨腔室底部；碳納米管?石墨烯復合結構微氣泡發生器陣列和碳納米管溫度傳感器陣列制備在玻璃基底對應噴墨腔室的區域，且朝向噴墨腔室設置。該噴頭進液關閉可靠、鍵合強度高、不易污染噴印腔室，制備時精度易于控制。
